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v 晶圓甩干機系高潔凈度的沖洗旋干設備。主要系應用于硅晶圓、掩模板、太陽能電池等材料的高潔凈度沖洗旋干。設備具有單工作室、雙工作室兩種結構
v 產品類型:有立式單腔,雙腔晶圓甩干機(2-12寸),水平多工位甩干機(2-12寸)
v 單次甩干數量1-25塊
v 作業程序:沖洗、烘干的步驟順序、時間、 轉速等可分段編輯,(可設 recipe 為 10 個)
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