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v 噴涂法即使在凹凸圖形上也能形成均勻涂層，因此它是這種結(jié)構(gòu)的方法。噴涂法還能噴涂方形的襯底
v 對(duì)起伏臺(tái)階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工
v 基板尺寸直徑為200 mm，方形邊長(zhǎng)為 6inch
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