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    Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機

    簡要描述:NikonNSR2005i10C1

    基礎信息

    產品型號

    廠商性質

    代理商

    更新時間

    2024-10-22

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    詳細介紹

    Nikon NSR 2005i10C

    1.Nikon NSR 2005i10C步進式光刻機

    光源波長365nm

    分辨率優于0.45µm

    主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產線

    廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

    2.產品詳情

    主要技術指標

    分辨率0.45µm

    N.A.0.57

    曝光光源365nm

    倍率5:1

    曝光現場20mm*20mm

    對準精度

    LSA:100nm

    FIA:110nm



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