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一、CIF手套箱專用等離子清洗機
CIF推出VGB-P系列手套箱專用等離子清洗設備，優化的腔體結構及合理的結構設計更適合手套箱內使用。安裝簡單方便，性能穩定，實用性強，容易維護。
二、產品特點
u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監測工藝參數狀態，20個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據，機器運行、停止提示。
u PLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
u 真空倉體，全真空管路系統采用316不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。
u 自動匹配器，功率無極可調。
u 采用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計，雙路氣體控制氣體流量，可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體，氣體分配均勻，經濟實用。
u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
u 弧形等離子激發板，等離子激發能力更強。
u 分體式設計，便于手套箱內使用。
u 安全保護，倉門打開，自動關閉電源。
三、技術參數
型號 | VGB3 | VGB3Plus |
艙體尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm |
艙體容積 | 3L | 3L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發方式 | 電容式 | 電容式 |
射頻功率 | 10-300W可調 | 10-150W可調 |
氣體控制 | 雙浮子流量計（標配） | |
有效處理尺寸 | L200xW155mm | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
氣體穩定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內 | |
電源 | AC220V 50-60Hz | |
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