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    智能型多功能橢偏儀

    簡要描述:vSmartSE是一款通用型薄膜測量工具

    基礎信息

    產品型號

    廠商性質

    代理商

    更新時間

    2024-10-22

    瀏覽次數

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    詳細介紹

    v Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快,準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(n, k)以及薄膜結構特性(如粗糙度、光學梯度及各向異性等)

    v 光譜范圍:450nm to 1000nm

    v 光譜分辨率:優于3nm

    v 光源:鹵素燈和藍光LED

    v 測試時間:小于1秒到10

    v 光斑尺寸:

    ? 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

    ? 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

    ? 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

    ? 500µm*500µm

    v 入射角:450 to 900 ,步徑50

    v 樣品尺寸:200mm以內

    v 樣品準直:手動調整樣品臺高度(17mm以內)和傾角

    v 空氣對射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

    v 厚度準確性:0.04%

    v 厚度重復性:±0.02%

    v 可選附件:

    ? 全自動量角器,入射角度從450 900可調,步徑0.010

    ? 可通過法蘭耦合在反應腔實現在線監測

    ? 冷熱臺,液體樣品池和電化學反應池

    ? 十字星自準直系統


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