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v 兩支獨(dú)立可調(diào)電磁聚焦離子槍
v 同時(shí)具備高能量(快速拋光)和低能量(精細(xì)修復(fù))
v 超寬加速電壓范圍：100eV 到 10kV，不同加速電壓下，離子束束斑均保持最細(xì)束斑狀態(tài)
v 每支離子槍均配備對(duì)應(yīng)法拉第杯進(jìn)行離子束直接探測(cè)
v 采用可調(diào)節(jié)10英寸觸屏控制系統(tǒng)，人機(jī)界面友好，操作簡(jiǎn)潔
v 自動(dòng)獨(dú)立氣源控制
v 減薄角度范圍：-15°~+10°連續(xù)可調(diào)
v 樣品載臺(tái)X-Y可調(diào)，可根據(jù)需要調(diào)整樣品減薄位置
v 具備原位實(shí)時(shí)觀察及記錄減薄過(guò)程功能
v 樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺，離子束自動(dòng)避讓樣品夾
v 可通過(guò)時(shí)間、溫度以及透光性自動(dòng)停止
v 可選液氮冷臺(tái)配置，去除熱效應(yīng)對(duì)樣品的損傷
v 可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置，隔絕樣品與水氧接觸
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冷熱沖擊試驗(yàn)箱
